Chemische Gassensoren in Duennschicht-Technik
Projektleitung und Mitarbeiter
Goepel, W. (Prof. Dr. rer. nat.), Schierbaum, K.-D. (Dr. rer. nat.), gemeinsam
mit: Fraunhofer-Inst. f. Physik. Messtechnik, Freiburg
Forschungsbericht :
1990-1992
Tel./ Fax.:
Projektbeschreibung
Prototypen chemischer Sensoren sollen in Duennschicht-Technologie mit
integrierter Heizung und Temperaturmessung hergestellt werden. Als
Messprinzipien werden resistive, kapazitive und thermische Effekte der
Sensor/Teilchen-Wechselwirkung ausgenutzt. Durch geeignete Wahl und
Modifizierung der chemisch sensitiven Schichten auf den
Prototyp-Grundstrukturen sollen Reproduzierbarkeit,
Langzeitstabilitaet und Spezifitaet der Sensoren und Sensorarrays
optimiert werden. Die Sensoren sollen zum selektiven Nachweis von
Gasen wie CO2, O2, H2O, NOx, CO und CH4 in Luft dienen.
Mittelgeber
Drittmittelfinanzierung: BMFT
Publikationen
Goepel, W., Hesse, J., Zemel,
J. N. (eds.): Sensors: A Comprehensive Book Series in 8 Volumes. -
VCH, Weinheim 1992.
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- Stand: 15.09.96
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